中走丝线切割加工中同内圆切开技能相比有其显着的缺点，一是片厚平均误差较大（约为内圆切开技能2倍）。二是切开进程中智能检测控制不易完成。三是切开进程的成功率要求较高，风险大，一但断丝而不行抢救时，直接糟蹋一根单晶棒。四是不能完成单片质量控制，一次切开完成后，才干检测一批圆片的切开质量，并且圆片之间切开质量也不相同。
在这些方面，电火花线切开内圆切开技能却显示出其优越性来。具体表现在：
a、自动、单片方式切换操作方便性。、
b、小批量多标准加工时灵活的加工可调性。
c、切片精度高，切片成本低，同标准级的内圆切片机价格为线切开机价格1/3～1/4，线切开机还需装备专用粘料机，每片都可调整。
d、低成本的辅料（线切开机磨料及磨料液要守时更换）。
e、不同片厚所需较小的调整时刻，不同棒径所需较小的调整时刻。f、修刀、装刀方便。八十年代中后期人们普遍认为：随着硅晶片大片径化开展，线切开技能是硅片切开的干流技能，在规模化晶圆片切开中将替代内圆切开技能。因而人们加大了对200mm以上线切开机的研究，以处理其技能不足。
中走丝线切割机床预查验的意图是为了查看、验证机床能否满足用户的加工质量及生产率，查看供货商提供的资料、备件。其首要作业包含：
（1）查验机床首要零部件是否按合同要求制造。
（2）各机床参数是否到达合同要求。
（3）查验机床几许精度及位置精度是否合格。
（4）机床各动作是否正确。
（5）对合同未要求部分查验，如发现不满意处可向生产厂家提出，以便及时改善。
（6）对试件进行加工，查看是否到达精度要求。
（7）做好预查验记录，包含精度查验及要求改善之处，并由生产厂家签字。
